無塵室
----------------------------------------------------------------------
無塵室(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)??刂瓶諝鈶腋∥⒘舛龋瑥亩_到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設計之房間。
無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
如表所示,每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
相關(guān)概念
⑴、自凈時間:是指無塵室按設計換氣次數(shù)開始送風到無塵室,室內(nèi)含塵濃度達到所設計的凈化級別的時間。1,000級希望不超過20min(分鐘) (可取15min計算) 10,000級希望不超過30min(分鐘) (可取25min計算) 100,000級希望不超過40min(分鐘) (可取30min計算)
⑵、換氣次數(shù)(按上述自凈時間要求設計)1,000級 43.5—55.3次/小時 (規(guī)范:50次/小時) 10,000級 23.8—28.6次/小時 (規(guī)范:25次/小時) 100,000級 14.4—19.2次/小時 (規(guī)范:15次/小時)
用途分類
⑴ 、工業(yè)無塵室
——以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)、半導體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
⑵、生物無塵室,
主要控制有生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為;
A、 一般生物無塵室,主要控制微生物(細菌)對象的污染。同時其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕,內(nèi)部一般保證正壓。實質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)無塵室。例:制藥工業(yè)、醫(yī)院(手術(shù)室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動物室驗室、理化檢驗室、血站等。
B、 生物學安全無塵室:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負壓。例:細菌、生物學、潔凈實驗室、物物工程(重組基因、疫苗制備)
一般潔凈度等級說明:
等數(shù)ISO空氣潔凈 | 大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(P/m -空氣) | 潔凈等級美國聯(lián)邦209E | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | ||
ISO Class1 | 10 | 2 | |||||
ISO Class2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
ISO Class3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | 1 | |
ISO Class4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | 10 | |
ISO Class5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | 100 |
ISO Class6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | 1000 |
ISO Class7 | 352000 | 83200 | 2930 | 10000 | |||
ISO Class8 | 3520000 | 832000 | 29300 | 100000 | |||
ISO Class9 | 35200000 | 8320000 | 293000 | 300000 |